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22.12.2017 00:00

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10.11.2016 00:00

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08.08.2016 00:00

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Artikel

28. Juni 2016 00:00
Kategorie: Allgemein, Konstruktion

Konzeptionierung eines konfokalen Geometriemessgerätes für Wafer

Das Messgerät verfügt über zwei konfokal-chromatische Messsysteme „confocalDT“ mit jeweils einem Controller. Das Mess-Gerät besteht aus einem vollgeschlossen Grundkörper und hat eine manuelle Be- und Entladestation.  Das universelle Aufnahmesystem mit einer Gesamtabmessung von 450x450mm erlaubt mittels separater Einlagen die schnelle und individuelle Anpassung des Systems zur Vermessung verschiedenster Wafer / Substrate.

Durch den Einsatz eines sich gegenüberstehenden Sensorpaares können hochauflösende berührungslose Dickenmessungen an einem großen Spektrum von Materialen durchgeführt werden. Insbesondere bei optisch transparenten Materialen kann somit ohne die exakte Kenntnis des Brechungsindezes die Substratdicke bestimmt werden. Durch die automatische Abrasterung der Oberfläche mit einer Vielzahl von Punkten können neben globalen Geometrieparametern wie Thickness (Thk), CenterThickness (CntThk) und Total Thickness Variation (TTV) auch lokale Parameter wie  Site Flateness (z.B. SFQR). Bei der Verwendung spezieller Wafer-Aufnahmen ist auch die Bestimmung der Substratverwölbung (Bow und Warp) möglich.


Messprinzip Konfokal-chromatisch

In der Optik nennt man zwei Linsen (bzw. gekrümmte Spiegel) konfokal zueinander angeordnet, wenn ihre Brennpunkte übereinstimmen. Beim konfokal-chromatischen Messverfahren wird weißes Licht über Linsen in verschiedene Spektren aufgespalten und durch eine mehrlinsen Optik auf ein Objekt fokussiert. Die Linsen sind so angeordnet, dass durch kontrollierte chromatische Abweichung das Licht in abstandsabhängige monochromatische Wellenlängen aufgeteilt wird.

Über PAS Ing mbH
Als Entwicklungsdienstleister bietet die PAS ING mbH für ihre Kunden Leistungen in den Bereichen Konstruktion und Entwicklung, Fabrik- & Produktions-Planung & -Optimierung, sowie Produktions-Simulationen an. Schwerpunkte sind u.a.: Anlagen-, Logistik- & Produktions-Simulation; TGA Planung im Industrie-Umfeld; 3D Laservermessung und Konstruktion & Anlagenentwicklung.


Kontakt:
PAS Ing Ingenieur-Gesellschaft mbH
Mike Fritzsche
Mühlsteig 2
90579 Langenzenn
Telefon/phone: +49 (0)9101 / 90 220 0
Telefax/fax: +49 (0)9101 / 90 220 100
E-Mail: mike.fritzsche@pas-ing.com
Internet: www.pas-ing.com


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