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Konzeptionierung & Bau – eines „Single Wafer Spin Dryer“

Der Spin Dryer dient zum Trocknen von Substraten mit einer Größe bis zu 12“ (300mm) rund bzw. 150mm rechteckig. Der Trockner ist so konzipiert, das er als „standalone“ Trockner direkt am Arbeitsplatz der Mitarbeiter aufgestellt werden kann. Somit können durch die flexible Aufstellung  Arbeitswege minimiert bzw. in Kombination mit einem Mini-Environment (lokal höhere Reinraumklasse) auch qualitativ Verbesserung bezüglich Partikelkontaminationen erzielt werden. Über eine Online-Rezeptsteuerung ist es dem Bediener möglich vorkonfigurierte Geschwindigkeiten und Trocknungszeiten auszuwählen. Die Anpassung der Aufnahme von unterschiedlichen Wafer/Substrat-Abmessungen erfolgt schnell über das Wechseln von Aufnahme-Pins.


Über PAS Ing mbH
Als Entwicklungsdienstleister bietet die PAS ING mbH für ihre Kunden Leistungen in den Bereichen Konstruktion und Entwicklung, Fabrik- & Produktions-Planung & -Optimierung, sowie Produktions-Simulationen an. Schwerpunkte sind u.a.: Anlagen-, Logistik- & Produktions-Simulation; TGA Planung im Industrie-Umfeld; 3D Laservermessung und Konstruktion & Anlagenentwicklung.


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