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Erstellung eines Reinigungs-Konzeptes für die Quartz-Teile aus der PV & Halbleiterindustrie
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19. März 2010 00:00
Kategorie: Spezielle Ingenieurdienstleistung

Erstellung eines Reinigungs-Konzeptes für die Quartz-Teile aus der PV & Halbleiterindustrie

Gründe für die Erstellung eines Reinigungskonzeptes, sind steigende Kundenanforderungen in Bezug auf Kontamination, den korrespondierenden Systemprozessen und die Produktqualität für einen stetigen Verbesserungs-prozess beim Kunden.

Die zu reinigenden Quarz Teile beinhalten ASM Kammern für Epitaxi, Quarzprodukte für das Trockenätzen, Nasschemie (z.B. SC1 Becken), Ofentechnik, Quarzglasfenster, wie Scheiben und Platten, Rohre aus Quarzglas, um nur einige zu nennen.

Der Schwerpunkt für Konzepterstellung lag auf dem Aufzeigen von Verbesserungs-potentialen für die Reinigung, Anforderungen an die Entsorgung und Lagerung, Erstellen eines MaterialflussLayout und Produktionslayout, Vorschlag eines Dokumentationssystem und das Aufzeigen von notwendigen Sicherheitsmaßnahmen inkl. Ver- und Entsorgungskonzept.


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